量測技術

先進設備

• Zygo^® VeriFire™ 高解析度 干涉儀干涉儀是用於測量微小位移、折射率變化和表面不規則度的儀器。將來自單一光源的光分成兩束獨立的光，這兩束光經過不同的光路後重新聚合。然後形成干涉條紋，提供兩條路徑之間光路長度差異的參數。干涉儀通常用於測量光學元件的表面精度。
• QED ASI 非球面拼接 干涉儀干涉儀是用於測量微小位移、折射率變化和表面不規則度的儀器。將來自單一光源的光分成兩束獨立的光，這兩束光經過不同的光路後再重新聚合。然後形成干涉條紋，提供兩條路徑之間光路長度差異的參數。干涉儀通常用於測量光學元件的表面精度。
• Fujinan 干涉儀干涉儀是用於測量微小位移、折射率變化和表面不規則度的儀器。將來自單一光源的光分成兩束獨立的光，這兩束光經過不同的光路後重新聚合。然後形成干涉條紋，提供兩條路徑之間光路長度差異的參數。干涉儀通常用於測量光學元件的表面精度。
• Xonox 干涉儀干涉儀是用於測量微小位移、折射率變化和表面不規則度的儀器。將來自單一光源的光分成兩束獨立的光，這兩束光經過不同的光路後重新聚合。然後形成干涉條紋，提供兩條路徑之間光路長度差異的參數。干涉儀通常用於測量光學元件的表面精度。
• TRIOPTICS Opticentric^® 定心測量儀定心測量儀用於測量鏡片機械軸與光學軸之間的偏差。
• Zeiss Contura G2 三座標測量儀 CMMsCMM 或座標測量儀是用於測量光學儀器物理尺寸的儀器。可以用電腦控制，也可以手動操作。
• Talysurf PGI1240 輪廓儀輪廓儀是用於測量光學元件表面形貌的儀器，可提供曲率和不規則度的相關參數。
• LUPHOScan 非接觸式 3D 輪廓儀 輪廓儀是用於測量光學元件表面形貌的儀器，可提供曲率、平面度和不規則度的相關參數。
• Zygo^® NewView™ 光學輪廓儀
• OptiPro UltraSurf 4X 100 量測系統
• OGP Smartscope
• 尼康 自動準直儀自動準直儀是對角度進行非接觸式測量的光學儀器。通常被用於測量稜鏡角度的公差精度。
• DigiMicro 顯微鏡 顯微鏡用於確定光學元件的表面質量。
• 奧林巴斯 MX51 顯微鏡 顯微鏡用於確定光學元件的表面質量。
• Park Systems XE-100 原子力顯微鏡（AFM） 原子力顯微鏡（AFM）透過小而鋒利的探頭在樣品表面掃描，以原子解析度測量樣品的表面形貌。這種針對表面的三維重建用於量化表面粗糙度。
• Shack-Hartmann 波前感測器（SHWFS） Shack-Hartmann 波前感測器（SHWFS）使用微透鏡陣列測量光學元件或系統的透射和反射波前誤差，動態範圍廣，精度高。
• 光腔衰盪光譜儀（CRDS） 光腔衰盪光譜儀（CRDS）透過測量發送到兩個高反射鏡圍成的諧振腔中的雷射脈衝的衰減，對反射和透射光學元件進行高靈敏度損耗測量。

Zygo^® VeriFire™ 高解析度干涉儀