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高效能reflx™物鏡

High Performance ReflX™ Objectives

High Performance ReflX™ Objectives


  • 繞射極限效能:穿透波前、RMS:λ/4
  • 採用錐形設計,在入射角為45°時可取得更大的間隙
  • 採用曲線型十字軸支架,以降低繞射影響
  • 領先業界的 24 至 31mm 工作距離

反射式物鏡普遍適用於,要求超高圖像品質或在廣波段光譜帶範圍內達到高聚焦效能的應用。Schwarzschild式物鏡,在設計規範鍍膜條件下整個反射範圍可呈現近繞射極限效能。這些元件可消除與標準顯微鏡物鏡有關的色像差及材料吸收等問題,適合紫外線或紅外線需要高光通量及優異分辨率的應用,包括FTIR光譜儀、橢偏儀、光微影技術和半導體檢查。

提供有限共軛及無限共軛兩種款式的物鏡。有限共軛選項適合標準及小型設計使用,不需要額外的聚焦成像鏡筒。無限共軛設計需要 200mm 的第二成像鏡筒。無限共軛設計可加入中間濾光片及分光鏡,讓這類物鏡也適合用於生物科技及螢光應用。對聚焦應用而言,光束應充滿指定的物鏡入瞳直徑。在任何情況下,都應注意光線變暗所產生的輻射曲線,以及光束中央部位的能量減弱。

ReflX™物鏡的設計擁有優於一般Schwarzschild物鏡的許多優點。藉由堅固的設計,可將這些物鏡整合至熱量與振動適中的設備中,而不會損及效能。內部所有表面均經過特殊處理,可消除雜散光。每面物鏡均在美國製造,並使用我們的Zygo GPI-XP干涉儀進行組裝、測試及檢驗。每面物鏡均隨附合格認證書。TECHSPEC® 高效能 ReflX™ 物鏡提供 λ/4 穿透波前 (P-V)。如需客製版本 (包括雷射鍍膜及其他背管長度),請聯絡本公司應用工程部門

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