極紫外 (EUV) 二向色濾光片

極紫外（EUV）二向色濾光片也被稱為分束鏡，是透過在極紫外（EUV）與近紅外波長之間提供高分離效率，用於高次諧波產生的應用。這些濾光片採用熔融石英基材，相比其他布魯斯特角光束分離器和極紫外（EUV）濾光片，適用於更高的雷射功率。極紫外（EUV）二向色濾光片的頻寬範圍為10nm～40nm。這些濾光片除產生高次諧波，還可用於極紫外（EUV）應用的系統，如EUV微影製程、EUVnm加工、相干衍射成像以及產生超快阿秒脈衝。