高精密度緊湊型電動載片台

• 閉合迴路設計能提供很高的可重複性與準確性
• 可執行分辨率低於一微米的平移
• 可以使用轉接器套件進行堆疊

高精密度緊湊型電動載片台採用具有線性編碼器的閉合迴路設計，以提供重複性與準確性都很高的平移。除了具備高負載容量外，高精密度緊湊型電動載片台還具有緊湊的外型，可輕鬆整合到對空間敏感的應用中。此外，藉由轉接器套件，能將這些平移載片台堆疊為X-Y、X-Z及X-Y-Z組態。

注意: 需要使用電動載片台控制器才能執行作業。