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NIKON干涉物鏡


  • 適用於非接觸式光學輪廓描繪
  • 提供Michelson與Mirau物鏡
  • 採用遠場補正200mm成像鏡筒設計

干涉物鏡用於非接觸式光學輪廓量測裝置中,以取得表面圖與表面量測參數。這些物鏡可用於以高精密度(可達光線波長的一小部分)檢查表面拓樸。在這些物鏡中,光束將通過分光鏡,該分光鏡會將光線導引到樣本的表面與內建干涉反射鏡。從這些表面反射的光線將重新合併,從而構成邊緣干涉圖案。Michelson物鏡可提供相對更長的工作距離、更寬的視場以及更大的焦深,而Mirau物鏡用於需要更高放大倍率及/或數值孔徑的應用。這些物鏡使用Nikon 200mm成像鏡筒(#58-520),因此能整合到C接環相機中。

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