Diameter (mm):

50.80

Angle of Incidence (°):

78

Fused Silica (Corning 7980)

Coating:

Dielectric Multilayer AR

Reflection (%):

>40

Surface Quality:

20-10

Thickness (mm):

5.08 ±0.1

Type:

Dichroic Filter

Parallelism (arcmin):

<5

Dimensional Tolerance (mm):

+0.0/-0.2

Wavelength Range (nm):

20 - 40

Surface Figure, RMS:

<λ/10 @ 633nm

Regulatory Compliance

RoHS:

Compliant

Certificate of Conformance:

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產品系列說明

在高次諧波發生器中將極紫外（EUV）與近紅外雷射源分開
專為高損傷閾值設計
支援10 - 40nm的應用
現貨供應
無最低訂購量、無鍍膜批次收費

極紫外（EUV）二向色濾光片也被稱為分束鏡，是透過在極紫外（EUV）與近紅外波長之間提供高分離效率，用於高次諧波產生的應用。這些濾光片採用熔融石英基材，相比其他布魯斯特角光束分離器和極紫外（EUV）濾光片，適用於更高的雷射功率。極紫外（EUV）二向色濾光片的頻寬範圍為10nm～40nm。這些濾光片除產生高次諧波，還可用於極紫外（EUV）應用的系統，如EUV微影製程、EUVnm加工、相干衍射成像以及產生超快阿秒脈衝。

20-40nm, 50.8mm Dia, EUV/IR Dichroic Filter

Regulatory Compliance

產品系列說明