Accessory Kit for Zaber Vacuum Stages

• 提供低真空（10-3 Torr）和高真空（10-6 Torr）兩種選項
• 提供360°旋轉、線性、垂直移動平臺以及測角儀選項
• 透過極少的饋通導線進行控制

Zaber™ 真空相容電動位移臺專為整合至真空系統而設計，提供 10⁻⁶ Torr 高真空型和 10⁻³ Torr 低真空型兩種組態選項。位移臺主體組件經過特殊設計，可以抑制真空腔體內汙染物的氣體逸出，針對高真空環境下的熱管理進行優化設計，而且整套平臺系統透過極少的饋通導線連接至電腦連接埠。Zaber™ 真空相容電動位移臺提供線性、360°旋轉及測角儀組態，可在真空環境中構建完整的六自由度系統。本系列產品非常適用於高真空條件下的製造與加工過程，例如半導體加工或光學鍍膜。

請注意：配件套件 #75-301為本產品必需配件，單獨銷售。