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壓電定位載片台採用壓電驅動電機，可在需要精細定位的應用中取得分辨率低於一微米的行程。壓電定位載片台採用黏著滑動設計，這些設計能充分擴充壓電元素，以便沿行程軸驅動載片台，同時不會導致精密度或整體行程範圍受損，此外該載片台還具備內嵌編碼器以保持可重複性。線性定位載片台每秒能移動最多2mm，整體行程超過51mm。旋轉載片台(採用預先裝載的兩個鋼製滾珠軸承)每秒能旋轉超過6° ，具有無限制的行程範圍與很大的阻滯力。
注意:需要使用控制器(#88-552)才能執行作業。
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