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Zaber™ 真空級電動線性載片台


  • 能在真空腔內與其他真空級裝置串接
  • 內建控制器可最大限度縮短整合時間
  • 與10-3 torr真空相容

Zaber™真空級電動線性載片台是緊湊型解決方案,適用於在真空腔內工作的應用。Zaber™真空級電動線性載片台符合NASA TML及CVCM需求,專為實現低除氣而設計。這些線性平移載片台能在真空腔內與其他真空級裝置串連,支援最多254個裝置,使用單一饋孔以降低佈線的凌亂程度並簡化系統存取。此外,這些載片台能採用XYZ模式進行安裝,在提供時具有特定的裝置封裝。

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