概觀

紫外線 (UV) 雷射光學元件對許多應用相當重要，其中包括半導體製程、螢光顯微鏡及雷射微加工。許多雷射光學元件應用正採用較短的紫外線波長，以建立非常小的精準特徵，盡可能減少周邊產生的熱能。紫外線光學元件應用增加，也帶動對應需求，需要使用在前述波長運作的各種光學元件。愛特蒙特光學® (EO) 是紫外線光學元件的頂級供應商，供應反射鏡、鏡頭、濾光片及光束擴束器等各種產品。

為何要使用雷射光學裝置？

建立更精準的特徵

在材料處理及醫療應用之中直接打破原子鍵結，不必融化或汽化材料

盡可能減少對周遭區域的損傷

光束光斑附近不會產生周邊熱能，盡可能減少對周遭材料或組織的損傷

更高的空間分辨率

由於光斑大小與波長之間具有直接比例關係，紫外線雷射的空間分辨率高於可見光或紅外線雷射

更高的吸收效果

許多材料在紫外線區域具有更高的吸收效果，超越其他波帶，包括有機材料在內

更高的能量

紫外線輻射的能量高於可見光及紅外線輻射，因為光線能量與波長之間具有反向比例關係

使用紫外線光學產品的困難之處

需要更緊密的表面容差

波中指定的相對效能，在短紫外線波長範圍內較差。例如在 308nm 使用鏡頭所需的不規則度容差，其緊密程度要達到 632.8nm 鏡頭的兩倍，才能維持相同程度的相對波前畸變。

鍍膜更加複雜

沉積程序需要更精確的監控，因為生產時的小波動，在紫外線造成的誤差可能高於可見光或紅外線光譜。

更多散射

刮傷及疤痕等表面瑕疵，在紫外線光之下會遭到放大，而小型表面瑕疵可能成為吸收或散射點，降低系統光通量。為了盡可能減少能源損耗，需要嚴格的表面品質規格。

增加多光子吸收

紫外線輻射能量較高，因此比較可能造成多光子吸收，導致產生失控程序損壞光學元件。

應用範例

紫外線雷射光學元件適合許多應用，因為這類元件能夠建立小型精準的特徵，並將對周遭區域的損傷降到最低。

雷射材料處理

在陶瓷、玻璃、塑膠及金屬進行劃線、切削及鑽孔

醫療雷射

神經手術、剝離反應，以及其他需要精準切割的醫療程序

半導體

矽劃線、晶圓檢測及標記和微加工

螢光顯微鏡

激發螢光以研究有機和無機物質的屬性

為何要與愛特蒙特光學合作？

品質

通過 ISO 9001 認證及 MIL-SPEC 品質系統
供應各式各樣的度量設備，包括干涉儀、孔腔內共振衰減 (CRD) 光譜儀、Shack-Hartmann 波前傳感器、輪廓儀，以及座標量測儀 (CMM)
保證雷射損傷閾值規格

生產能力及服務

在美國、歐洲及亞洲製造光學裝置
客製設計服務，強調可製造性
迅速完成修改服務

資源及支援

可輕鬆取得各種線上技術內容，包括影片、應用說明、計算器及其他各種項目
24 小時工程支援

以卓越製程控制提供一致品質

就精準紫外線測試需要的量測費用而言，通常難以驗證訂購的光學裝置，是否符合其宣傳所述的規格。愛特蒙特光學® (EO) 測試 4 家競爭對手的 41 種現貨 355nm 雷射光反射鏡樣品，與公司的 TECHSPEC^® 355nm 雷射光反射鏡進行比較；比較項目包括雷射損傷閾值 (LIDT)、反射率、表面精度及平行能力。測試為雙盲研究，確保實驗人員不知道測試哪一家廠商的反射鏡以減少偏見。下圖顯示各種反射鏡是否符合其宣傳規格。研究結果顯示愛特蒙特光學的 TECHSPEC^® 355nm 雷射光反射鏡，是唯一符合每一項宣傳規格的反射鏡。

圖1: 只有愛特蒙特光學和競爭廠商 1 的反射鏡，在 100% 測試中符合標示的 LIDT 規格。

圖2: 只有愛特蒙特光學、競爭廠商 1 及 3 的反射鏡，在 100% 測試中符合標示的表面精度規格。

圖3: 只有愛特蒙特光學的反射鏡，在 100% 測試中符合標示的反射率規格。

圖4: 只有愛特蒙特光學、競爭廠商 1 及 2 的反射鏡，在 100% 測試中符合標示的平行能力規格。

紫外線光學產品選擇指南

Nd:YAG 雷射光反射鏡
- 提供的損傷閾值可達 5 J/cm² (在 10ns 及 355nm 情況下)
- 在設計波長下的絕對反射率超過 99.8%
- 266nm 及 355nm 波長選項
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高能量準分子雷射光反射鏡
- 高損傷閾值，可達 1.5 J/cm² (在 10ns 情況下)
- 具有低損失的電介質鍍膜
- 設計用於通用準分子波長
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精密紫外線反射鏡
- 深紫外線增強和真空紫外線增強版本
- 反射波長小至120nm
- 在指定設計波長下的反射率超過78%
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精密紫外線熔融石英(fused silica)非球面透鏡
- f/#低，可實現最佳的收光
- 熱膨脹係數低
- 提供產品設計參數檔案(Zemax)
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平凸 (PCX) 紫外熔融石英透鏡
- UV級熔融石英
- 波長范圍為200nm至2.2μm
- 可提供各式的鍍膜
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雷射光級平凸 (PCX) 鏡片
- 高破壞閾值
- 熔融石英基材
- 提供直徑6mm,12mm 與25mm 選項
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