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UV Laser Optics

概觀

紫外線 (UV) 雷射光學元件對許多應用相當重要,其中包括半導體製程、螢光顯微鏡及雷射微加工。許多雷射光學元件應用正採用較短的紫外線波長,以建立非常小的精準特徵,盡可能減少周邊產生的熱能。紫外線光學元件應用增加,也帶動對應需求,需要使用在前述波長運作的各種光學元件。愛特蒙特光學® (EO) 是紫外線光學元件的頂級供應商,供應反射鏡、鏡頭、濾光片及光束擴束器等各種產品。

為何要使用雷射光學裝置?

 

建立更精準的特徵

在材料處理及醫療應用之中直接打破原子鍵結,不必融化或汽化材料

 

盡可能減少對周遭區域的損傷

光束光斑附近不會產生周邊熱能,盡可能減少對周遭材料或組織的損傷

 

更高的空間分辨率

由於光斑大小與波長之間具有直接比例關係,紫外線雷射的空間分辨率高於可見光或紅外線雷射

 

更高的吸收效果

許多材料在紫外線區域具有更高的吸收效果,超越其他波帶,包括有機材料在內

 

更高的能量

紫外線輻射的能量高於可見光及紅外線輻射,因為光線能量與波長之間具有反向比例關係

使用紫外線光學產品的困難之處

 

需要更緊密的表面容差

波中指定的相對效能,在短紫外線波長範圍內較差。例如在 308nm 使用鏡頭所需的不規則度容差,其緊密程度要達到 632.8nm 鏡頭的兩倍,才能維持相同程度的相對波前畸變。

 

鍍膜更加複雜

沉積程序需要更精確的監控,因為生產時的小波動,在紫外線造成的誤差可能高於可見光或紅外線光譜。

 

更多散射

刮傷及疤痕等表面瑕疵,在紫外線光之下會遭到放大,而小型表面瑕疵可能成為吸收或散射點,降低系統光通量。為了盡可能減少能源損耗,需要嚴格的表面品質規格。

 

增加多光子吸收

紫外線輻射能量較高,因此比較可能造成多光子吸收,導致產生失控程序損壞光學元件。

應用範例

紫外線雷射光學元件適合許多應用,因為這類元件能夠建立小型精準的特徵,並將對周遭區域的損傷降到最低。

Laser Materials Processing

雷射材料處理

在陶瓷、玻璃、塑膠及金屬進行劃線、切削及鑽孔

Medical Lasers

醫療雷射

神經手術、剝離反應,以及其他需要精準切割的醫療程序

Semiconductor

半導體

矽劃線、晶圓檢測及標記和微加工

Fluorescence Microscopy

螢光顯微鏡

激發螢光以研究有機和無機物質的屬性

為何要與愛特蒙特光學合作?

 

品質

  • 通過 ISO 9001 認證及 MIL-SPEC 品質系統
  • 供應各式各樣的度量設備,包括干涉儀、孔腔內共振衰減 (CRD) 光譜儀、Shack-Hartmann 波前傳感器、輪廓儀,以及座標量測儀 (CMM)
  • 保證雷射損傷閾值規格

 

生產能力及服務

  • 在美國、歐洲及亞洲製造光學裝置
  • 客製設計服務,強調可製造性
  • 迅速完成修改服務

 

資源及支援

  • 可輕鬆取得各種線上技術內容,包括影片、應用說明、計算器及其他各種項目
  • 24 小時工程支援
Laser Optics Clean Room

以卓越製程控制提供一致品質

就精準紫外線測試需要的量測費用而言,通常難以驗證訂購的光學裝置,是否符合其宣傳所述的規格。愛特蒙特光學® (EO) 測試 4 家競爭對手的 41 種現貨 355nm 雷射光反射鏡樣品,與公司的 TECHSPEC® 355nm 雷射光反射鏡進行比較;比較項目包括雷射損傷閾值 (LIDT)、反射率、表面精度及平行能力。測試為雙盲研究,確保實驗人員不知道測試哪一家廠商的反射鏡以減少偏見。下圖顯示各種反射鏡是否符合其宣傳規格。研究結果顯示愛特蒙特光學的 TECHSPEC® 355nm 雷射光反射鏡,是唯一符合每一項宣傳規格的反射鏡。

Oscilloscope
圖1: 只有愛特蒙特光學和競爭廠商 1 的反射鏡,在 100% 測試中符合標示的 LIDT 規格。
Lock-In Amplifier
圖2: 只有愛特蒙特光學、競爭廠商 1 及 3 的反射鏡,在 100% 測試中符合標示的表面精度規格。
Phasemeter
圖3: 只有愛特蒙特光學的反射鏡,在 100% 測試中符合標示的反射率規格。
Data Logger
圖4: 只有愛特蒙特光學、競爭廠商 1 及 2 的反射鏡,在 100% 測試中符合標示的平行能力規格。

紫外線光學產品選擇指南

資源

應用說明

技術資訊及應用範例包括理論說明、方程式、圖示及其他各項

Advantages of Using Beam Expanders
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Beam Expander
Selection Guide
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使用柱面透鏡時的考量
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Fundamentals
of Lasers
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Handling and Storing High Power Laser Mirrors
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高雷射損傷抗反射鍍膜
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Simplifying Laser Alignment
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瞭解及指定雷射元件的LIDT
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UV Optics: Tighter Tolerances and Different Materials
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Why Laser Damage Testing is Critical for UV Laser Applications
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Importance of Beam Diameter on Laser Damage Threshold
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影片

資訊豐富的企業或教學影片,除了介紹各種簡單秘訣,也提供以應用為基礎的產品優勢展示。

Beam Combining for Increased Power
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柱面透鏡產品概述
觀看  

Laser Optics Lab Video Series
觀看  

LC (Low Cost) Fixed YAG Beam Expanders
觀看  

計算器

包括光學,成像和光電行業中常用方程的科學計算器。

高斯光束計算器
計算  

雷射光斑計算器
計算  

下載

可下載手冊、案例研究、白皮書、功能指南及產品文獻。

UV Optics Brochure
下載  

技術文章

鏈接到由愛特蒙特光學撰寫,發表在行業出版物上的技術文章,由EO的工程團隊和管理層提供支持。

"No One-Size-Fits-All Approach to Selecting Optical Coatings" by Stefaan Vandendriessche - Photonics Media (英文)
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